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LMS


멀티캐리어 시스템

 - 일반 리니어 모터의 컨버팅 된 하드웨어
 - 배선 및 운영비 절감
 - 클린룸, 진공챔버 내부에서 구동
 - 특수한 환경 내 이송 시스템